Spin-on Metal Oxides and Their Applications for Next Generation Lithography

Author:

Yao Huirong1,Mullen Salem1,Wolfer Elizabeth1,Mckenzie Douglas1,Dioses Alberto1,Rahman Dalil1,Cho JoonYeon1,Padmanaban Munirathna1,Petermann Claire2,Hong SungEun2,Mannaert Geert3,Hopf Toby3,De Simone Danilo3,Vangoidsenhoven Diziana3,Lorant Christophe3,Sebaai Farid3,Sanchez Efrain Altamirano3

Affiliation:

1. EMD Performance Materials Corp.

2. Merck Performance Materials

3. IMEC

Publisher

Technical Association of Photopolymers, Japan

Subject

Materials Chemistry,Organic Chemistry,Polymers and Plastics

Cited by 6 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献

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