Affiliation:
1. CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH Konrad-Zuse-Str. 14 99099 Erfurt Germany
2. Institut für Physik und Institut für Mikro- und Nanotechnologien TU Ilmenau 98693 Ilmenau Germany
Funder
Deutsche Forschungsgemeinschaft
Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie
Subject
Materials Chemistry,Electrical and Electronic Engineering,Surfaces, Coatings and Films,Surfaces and Interfaces,Condensed Matter Physics,Electronic, Optical and Magnetic Materials