Calibration of Step Height Standard Using Metrological Atomic Force Microscope
Author:
Affiliation:
1. 産業技術総合研究所 計量標準総合センター
Publisher
Japan Society for Precision Engineering
Subject
Mechanical Engineering
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/87/9/87_744/_pdf
Reference8 articles.
1. 1) I. Misumi et al.: Reliability of Parameters of Associated Base Straight Line in Step Height Samples: Uncertainty Evaluation in Step Height Measurements Using Nanometrgological AFM, Precision Engineering, 30（2006）13.
2. 2) I. Misumi et al.: Uncertainty in Pitch Measurements of One-dimensional Grating Standards Using a Nanometrological Atomic Force Microscope, Meas. Sci. Technol., 14（2003）463.
3. 3) I. Misumi et al.: Nanometric lateral scale development with Si/SiO2 multilayer thin-film structures and improvement of uncertainty evaluation using analysis of variance, Meas. Sci. Technol., 19（2008）045101.
4. 4) 高増潔：知的計測技術によるメソスケール形状測定，精密工学会誌，74（2008）213．
5. 5) ISO 5436-1: 2000: Geometrical Product Specifications（GPS）―Surface texture: Profile method ; Measurement standards―Part 1: Material measures（2000).
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