A CMOS-MEMS Beam Resonator with Q > 10,000
Author:
Affiliation:
1. National Taiwan University,Institute of Applied Mechanics,Taipei,Taiwan
Funder
National Science and Technology Council
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/10052111/10052113/10052474.pdf?arnumber=10052474
Reference15 articles.
1. 1:6 Internal Resonance in CMOS-MEMS Multiple-Stepped CC-Beam Resonators
2. An analytical model for support loss in micromachined beam resonators with in-plane flexural vibrations
3. Topology optimization for reduction of thermo-elastic dissipation in MEMS resonators
4. A CMOS-MEMS clamped–clamped beam displacement amplifier for resonant switch applications
5. Exploring the Q-factor limit of temperature compensated CMOS-MEMS resonators
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