A New Figure of Merit, ${\Delta V_{\text {DIBLSS}} /(I_{\rm {d},{\mathrm{ sat}}} /I_{\rm {sd},{\mathrm{ leak}}} )}$ , to Characterize Short-Channel Performance of a Bulk-Si n-Channel FinFET Device

Author:

Eng Yi-ChuenORCID,Hu Luke,Chang Tzu-Feng,Hsu Steven,Chiou Chun Mao,Wang Ted,Yang Chih-Wei,Lin Chien-Ting,Wang I-Chang,Chen Ming-Chih,Lai Andy,Wang Pei-Wen,Hsu Chia-Jung,Pang Wen-Yuan,Kuo Chin-Hao,Cheng Osbert,Wang Chih-Yi

Publisher

Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Electronic, Optical and Magnetic Materials,Biotechnology

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