Advancing 2D Monolayer CMOS Through Contact, Channel and Interface Engineering

Author:

O'Brien K. P.1,Dorow C. J.1,Penumatcha A.1,Maxey K.1,Lee S.1,Naylor C. H.1,Hsiao A.1,Holybee B.1,Rogan C.1,Adams D.1,Tronic T.1,Ma S.2,Oni A.3,Gupta A. Sen1,Bristol R.1,Clendenning S.1,Metz M.1,Avci U.1

Affiliation:

1. Intel Corporation,Components Research,Hillsboro,OR,USA,97214

2. Intel Corporation,Global Supply Chain,Hillsboro,OR,USA,97214

3. Intel Corporation,Quality and Reliablity,Hillsboro,OR,USA,97214

Publisher

IEEE

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