Laser Processing For 3D Junctionless Transistor Fabrication-Reference-Cited by-同舟云学术

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Laser Processing For 3D Junctionless Transistor Fabrication

Published:2019-10-14 Issue: Volume: Page:
ISSN:
Container-title:2019 IEEE SOI-3D-Subthreshold Microelectronics Technology Unified Conference (S3S)
language:
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Author:

Bosch D.,Alba P. Acosta,Kerdiles S.,Benevent V.,Perrot C.,Lassarre J.,Richy J.,Lacord J.,Sklenard B.,Brunet L.,Batude P.,Fenouillet-Beranger C.,Lattard D.,Colinge J. P.,Balestra F.,Andrieu F.

Publisher

IEEE

Link

http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/9320620/9320498/09320642.pdf?arnumber=9320642

Cited by 3 articles. 订阅此论文施引文献订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

1. 半导体集成电路制造中的准分子激光退火研究进展;Infrared and Laser Engineering;2023

2. Retention Problem Free High Density 4T SRAM cell with Adaptive Body Bias in 18nm FD-SOI;2022 35th International Conference on VLSI Design and 2022 21st International Conference on Embedded Systems (VLSID);2022-02

3. Impact of Gaussian Doping on SRAM Cell Stability in 14nm Junctionless FinFET Technology;Silicon;2021-10-11

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