半导体集成电路制造中的准分子激光退火研究进展

Author:

Yu Xuehao 喻学昊,Fang Xiaodong 方晓东,You Libing 游利兵,Wang Yizhe 王怡哲,Liu Molin 刘墨林,Wang Hao 王豪

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Reference87 articles.

1. Razavi Behzad. 模拟CMOS集成电路设计[M]. 陈贵灿 译. 第2版. 西安: 西安交通大学出版社 2018: 616619.

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3. Felch S Bl J Fang Z et al. Optimized BF3P2 LAD implantation with SiPAI f shallow abrupt high quality p+n junctions fmed using low temperature SPE annealing [C]Ion Implantation Technology Proceedings of the 14th International Conference 2002: 5255.

4. Low temperature shallow junction formation for 70 nm technology node and beyond;J O Borland;MRS Online Proceedings Library (OPL),2002

5. Ultrashallow and low-leakage p+n junction formation by Plasma Immersion Ion Implantation (PIII) and low-temperature post-implantation annealing;Herzl Aharoni;Japanese Journal of Applied Physics,2001

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