Laser produced plasma light source development for HVM
Author:
Fomenkov Igor V.1, Brandt David C.1, Farrar Nigel R.1, La Fontaine Bruno1, Myers David W.1, Brown Daniel J.1, Ershov Alex I.1, Böwering Norbert R.1, Riggs Daniel J.1, Rafac Robert J.1, De Dea Silvia1, Purvis Michael1, Peeters Rudy2, Meiling Hans2, Harned Noreen2, Smith Daniel2, Kazinczi Robert2, Pirati Alberto2
Affiliation:
1. Cymer LLC (United States) 2. ASML Netherlands B.V. (Netherlands)
Reference10 articles.
1. D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, N. R. Farrar, G. O. Vaschenko,O. V. Khodykin, A. N. Bykanov, J. R. Hoffman, C. P. Chrobak, S. N. Srivastava, I. Ahmad, C. Rajyaguru, D.J. Golich, D. A. Vidusek, S. De Dea, R. R. Hou, Proc. SPIE 7271, 727103 (2009). 2. Performance results of laser-produced plasma test and prototype light sources for EUV lithography 3. D. C. Brandt, I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, R. L. Sandstrom, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, A. N. Bykanov, S. N. Srivastava, I. Ahmad, C. Rajyaguru, D. J. Golich, S. De Dea, R. R. Hou, K. M. O’Brien, W. J. Dunstan, Proc. SPIE 7636, 76361I (2010). 4. I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, R. L. Sandstrom, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, A. N. Bykanov, S. N. Srivastava, I. Ahmad, C. Rajyaguru, D. J. Golich, S. De Dea, R. R. Hou, K. M. O’Brien, W. J. Dunstan, D. C. Brandt, Proc. SPIE 7636, 763639 (2010). 5. I. V. Fomenkov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, D. Brown, R. L. Sandstrom, B. M. La Fontaine, A. N. Bykanov, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, N. R. Böwering, P. Das, V. B. Fleurov, K. Zhang, S. N. Srivastava, I. Ahmad, C. Rajyaguru, S. De Dea, R. R. Hou, W. J. Dunstan, P. Baumgart, T. Ishihara, R. D. Simmons, R. N. Jacques, R. A. Bergstedt, D. C. Brandt, Proc. SPIE 7969, 79633 (2011).
Cited by
7 articles.
订阅此论文施引文献
订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献
|
|