A nonlinear electromagnetics model of an asymmetrically-driven, low pressure capacitive discharge

Author:

Wen De-Qi12,Kawamura E.2,Lieberman M. A.2,Lichtenberg A. J.2,Wang You-Nian1ORCID

Affiliation:

1. School of Physics, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China

2. Department of Electrical Engineering and Computer Science-1770, University of California, Berkeley, California 94720, USA

Funder

U.S. Department of Energy (DOE)

Publisher

AIP Publishing

Subject

Condensed Matter Physics

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