A high‐current microwave ion source for ion implantation
Author:
Publisher
AIP Publishing
Subject
Instrumentation
Link
http://aip.scitation.org/doi/pdf/10.1063/1.1142889
Reference7 articles.
1. Ion sources for use in ion implantation
2. A new ion source for electromagnetic isotope separators
3. Operating procedure for improving ion source lifetime for the 80-180XP ion implanter
4. Beam qualities of a microwave ion source
5. Emittances of a microwave ion source for implantation
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1. Small microwave ion source for an ion implanter;Review of Scientific Instruments;1996-03
2. Electron cyclotron resonance multicharged ion source with elemental boron;Review of Scientific Instruments;1994-04
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