Step-flow growth in homoepitaxy of β-Ga2O3 (100)—The influence of the miscut direction and faceting

Author:

Schewski R.1ORCID,Lion K.2ORCID,Fiedler A.1,Wouters C.1ORCID,Popp A.1,Levchenko S. V.34,Schulz T.1ORCID,Schmidbauer M.1,Bin Anooz S.1,Grüneberg R.1,Galazka Z.1ORCID,Wagner G.1,Irmscher K.1ORCID,Scheffler M.3,Draxl C.2,Albrecht M.1ORCID

Affiliation:

1. Leibniz-Institut für Kristallzüchtung, Max-Born-Straße 2, 12489 Berlin, Germany

2. Humboldt-Universität zu Berlin, Institut für Physik und IRIS, Zum Großen Windkanal 6, D-12489 Berlin, Germany

3. Fritz-Haber-Institut der Max-Planck-Gesellschaft, Theory Department, Faradayweg 4-6, 14195 Berlin, Germany

4. Skolkovo Institute of Science and Technology, Skolkovo Innovation Center, 3 Nobel Street, 143026 Moscow, Russia

Funder

Deutsche Forschungsgemeinschaft

Leibniz-Gemeinschaft

Publisher

AIP Publishing

Subject

General Engineering,General Materials Science

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