Cross-section Observation of Organic Materials utilizing Ar-GCIB by TOF-SIMS
Author:
Affiliation:
1. ULVAC-PHI Inc.
Publisher
Surface Analysis Society of Japan
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsa/21/3/21_112/_pdf
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1. Cross-section Observation of Inorganic/Organic Materials by Using FIB-TOF-SIMS;Journal of Surface Analysis;2016
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