Study of the Processes of Mesoporous-Silicon Carbonization
Author:
Publisher
Pleiades Publishing Ltd
Subject
Surfaces, Coatings and Films
Link
http://link.springer.com/content/pdf/10.1134/S1027451019020083.pdf
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1. Relaxation of Mechanical Stress in Epitaxial Films of Cubic Silicon Carbide on Silicon Substrates with a Buffer Porous Layer;Technical Physics;2021-07
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