Ein Messsystem zur Bestimmung von Materialkennwerten an Mikrokomponenten auf Basis der Digitalen Holografie (A Measurement System for the Determination of Material Properties of Microcomponents on the Basis of Digital Holography)

Abstract

In diesem Beitrag wird ein neuartiges Messsystem auf Basis der Digitalen Holografie vorgestellt, das zielgerichtet für die Bestimmung von Materialkennwerten an Mikrokomponenten entwickelt wurde. Auf der Grundlage einer kombinierten interferometrischen Form- und Verformungsmessung werden exemplarisch die Poissonzahl, das E-Moduls und der thermische Ausdehnungskoeffizient an Mikrobalken ermittelt.