Digitale Holografie an Oberflächengittern zur Zustandsbestimmung von Mikrosystemen (Digital Holography applied to Surface Gratings to determine the Condition of Microsystems)

Abstract

In diesem Beitrag wird ein neuartiges Messverfahren auf interferometrischer Basis vorgestellt, um den Zustand eines in die Oberfläche des zu untersuchenden Objektes eingebrachten optischen Gitters mithilfe der Digitalen Holografie auszuwerten. Die neue Messtechnik erlaubt die Bestimmung von Verschiebungskomponenten senkrecht bzw. parallel zur untersuchten Oberfläche und bietet gleichzeitig interferometrische Genauigkeit. Da das eingeschriebene optische Gitter wie ein passiver Sensor wirkt, eignet sich das Verfahren besonders zur Langzeitüberwachung von polymeren Mikrokomponenten.