Messtechnische Grundlagen zur Inspektion von Mikrokomponenten mittels Digitaler Holografie (The Metrological Basis for the Inspection of Microcomponents by Digital Holography)

Abstract

Die Charakterisierung von Materialien zählt zu den vorrangigen Aufgaben bei der Entwicklung von neuen Erzeugnissen der Mikrosystemtechnik. Optische Messtechniken weisen wesentliche Vorteile auf, die sie für eine Inspektion von Mikrokomponenten prädestinieren: hohe Messempfindlichkeit und Genauigkeit, Rückwirkungs- und Zerstörungsfreiheit gegenüber dem Messobjekt, sehr kurze Antwortzeiten und feldweise Messwerterfassung. Insbesondere die Methode der Digitalen Holografie und die darauf basierenden digitalen Messtechniken (holografische Interferometrie, holografische Topometrie) liefern einen eleganten Zugang zu 3D-Form- und Verformungsdaten kleiner Objekte mit interferometrischer Auflösung. Der Beitrag behandelt die physikalisch-mathematischen Grundlagen der Digitalen Holografie und schafft so die Voraussetzung für die Entwicklung einer neuen Generation von Inspektionssystemen zur Charakterisierung der Materialeigenschaften von Mikrokomponenten.