Digitale Holografie an reflektierenden Mikrosystemen (Digital Holography Applied to Reflective Microsystems)

Abstract

Abstract In diesem Beitrag wird ein Interferometer auf Basis der digitalen Holografie vorgestellt, welches die Erfassung der Form und der Deformation reflektierender Mikrosysteme ermöglicht. Ein Schwerpunkt liegt hierbei auf dem Modell zur Rückführung der Geometriedaten aus den gemessenen Phasenverteilungen. Die Ergebnisse lassen sich so in metrische Einheiten überführen und dienen damit als Grundlage zum Vergleich mit numerischen Modellrechnungen. Die Formerfassung und die Ermittlung der unter thermischer Belastung auftretenden Verschiebungen werden beispielhaft an einer Testkomponente aus dem Bereich der Mikrosystemtechnik demonstriert. Im Bereich der Verschiebungsmessung können die vorteilhaften Eigenschaften der digitalen Holografie genutzt werden, um zwischen den Messungen auftretende Ganzkörperverschiebungen der Belastungseinheit in Richtung der optischen Achse zu kompensieren.