Tiefen- und Längennormale aus Silizium (Depth and Lateral Standards Made of Silicon)

Abstract

Abstract Die Silizium-Mikrotechnologie eignet sich hervorragend für die Herstellung von Maßverkörperungen. Auf dieser Grundlage wurden Normale für die Kalibrierung taktiler und optischer Profilmessgeräte entwickelt. Sie stellen Abmessungen bereit, wie sie für dreidimensionale Strukturen der Mikrotechnik typisch sind: 1µm bis 1000 µm in der Tiefe und 10 µm bis 62,5 mm in lateraler Richtung. Daneben enthalten die Normalkörper weitere Strukturen wie Rillengitter und scharfe, vertikale Stufen, die z.B. ein Kontrolle des Auflösungsvermögens und der Tastspitze ermöglichen.