Neue taktile Sensoren für die Mikro- und NanotechnikNew Tactile Sensors for Micro- and Nanotechnology

Author:

Brand Uwe,Nesterov Vladimir1,Doering Lutz2,Bütefisch Sebastian3,Peiner Erwin4,Büttgenbach Stephanus5,Frühauf Joachim6

Affiliation:

1. Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig, Deutschland

2. Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Arbeitsgruppe 5.11 Mikrosystemmesstechnik, Braunschweig

3. Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig

4. Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, Institut für Halbleitertechnik, Braunschweig

5. TU Braunschweig, Institut für Mikrotechnik, Braunschweig, Deutschland

6. TU Chemnitz, Institut für Mikrosystem- und Halbleitertechnik, Chemnitz

Abstract

Zusammenfassung Dimensionelle Messungen an Bauteilen der Mikrosystemtechnik waren aufgrund des Fehlens größenangepasster Antastelemente lange Zeit nicht möglich. Zwei neue Mikrotastsysteme auf der Basis von piezoresistiven Siliziumsensoren stehen nun zur Verfügung und können für Präzisionsmessungen eingesetzt werden. Durch die Vielfalt der zu messenden Materialien, unter denen etliche eine geringe Härte aufweisen, kommt der elastischen wie plastischen Deformation beim Messen große Bedeutung bei. Vermeiden lassen sich diese systemischen Abweichungen oder die Kratzer nur durch die Verwendung kleiner Antastkräfte. Der Beitrag beschreibt die entwickelte Mikrokraftmesstechnik und gibt einen Ausblick auf die in Entwicklung befindliche Nanokraftmesstechnik, die für entsprechende rasterkraftmikroskopische Präzisionsmessungen erforderlich ist. Ein Schwerpunkt der Forschungsarbeiten erstreckt sich auf die Modellierung der Deformationen beim taktilen, rasternden Messen.

Publisher

Walter de Gruyter GmbH

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Instrumentation

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