Neue taktile Sensoren für die Mikro- und NanotechnikNew Tactile Sensors for Micro- and Nanotechnology

Abstract

Zusammenfassung Dimensionelle Messungen an Bauteilen der Mikrosystemtechnik waren aufgrund des Fehlens größenangepasster Antastelemente lange Zeit nicht möglich. Zwei neue Mikrotastsysteme auf der Basis von piezoresistiven Siliziumsensoren stehen nun zur Verfügung und können für Präzisionsmessungen eingesetzt werden. Durch die Vielfalt der zu messenden Materialien, unter denen etliche eine geringe Härte aufweisen, kommt der elastischen wie plastischen Deformation beim Messen große Bedeutung bei. Vermeiden lassen sich diese systemischen Abweichungen oder die Kratzer nur durch die Verwendung kleiner Antastkräfte. Der Beitrag beschreibt die entwickelte Mikrokraftmesstechnik und gibt einen Ausblick auf die in Entwicklung befindliche Nanokraftmesstechnik, die für entsprechende rasterkraftmikroskopische Präzisionsmessungen erforderlich ist. Ein Schwerpunkt der Forschungsarbeiten erstreckt sich auf die Modellierung der Deformationen beim taktilen, rasternden Messen.