Die Ankopplung verschiedenartiger Detektionssysteme für dimensionelle Messungen im Mikro- und Nanometerbereich an die Nanomessmaschine (Linking up Various Detection Systems for Dimensional Measurements in the Micro- and Nanorange with the Nanomeasuring Machine)

Abstract

Die zunehmende Miniaturisierung von Bauteilen in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik stellt gehobene Anforderungen an die im Rahmen der Qualitätssicherung verwendeten Messsysteme. Besonderes Augenmerk muss hierbei auf die Vergleichbarkeit der Messergebnisse und ihre Rückführbarkeit gelegt werden. In diesem Beitrag wird ein Messgerät vorgestellt, das auf Basis des hochauflösenden Positioniersystems der “Nanomessmaschine” arbeitet. Durch die geeignete Wahl eines von vier taktilen und optischen Antastsystemen kann dieses System für die unterschiedlichen Messaufgaben in der dimensionellen Messtechnik im Mikro- und Nanometerbereich angepasst werden. Eine Auswahl von Kalibrierergebnissen illustriert die Möglichkeiten des Messsystems.