Nanomessmaschine zur abbefehlerfreien Koordinatenmessung (Nano Measuring Machine for Zero Abbe Offset Coordinate-measuring)

Abstract

Abstract Am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik wird eine Nanomessmaschine für die dreidimensionale Koordinatenmessung mit einem Messbereich von 25 mm x 25 mm x 5 mm und einer Auflösung von 1,24 nm entwickelt. Das Gerät schließt mit seiner Auflösung und seinem Messbereich eine Gerätelücke in der Koordinatenmesstechnik. Drei Miniaturplanspiegelinterferometer, ein Antastsensor und zwei Winkelsensoren werden so angeordnet, dass in allen drei Koordinatenachsen abbefehlerfreie Messungen möglich sind. Anwendungsgebiet der neuen Nanomessmaschine ist die Präzisionsvermessung von Kleinteilen und Mikrostrukturen.