Kontur-, Rauheits- und Kraftmesstechnik mit Silizium-Cantileversonden (Shape, Roughness and Force Metrology using Silicon Cantilever Sensors)

Abstract

Es werden piezoresistive Cantileversonden beschrieben, die für die Kontur- und Rauheitsbestimmung an mikroskopischen Bauteilen mit hohem Aspektverhältnis konzipiert sind. Sie sind weiterhin als transferierbare Krafteinstellnormale im Bereich von Nano- bis Millinewton einsetzbar. Als ein Beispiel für dimensionelle Messungen werden Rillen- und Rauheitsnormale sowie Eindrücke von Prüfkörpern zur Härtebestimmung charakterisiert. Der Einsatz von transferierbaren Krafteinstellnormalen zur Weitergabe geringer Kräfte wird vorgestellt. Messergebnisse an handelsüblichen Tastschnittgeräten sowie die Messung von Mikronewton-Kräften an lebenden einzelnen Herzmuskelzellen werden gezeigt.