Author:
KONDO Kazuo,NAKAMURA Taichi,MIKAMI Daisuke,OKUBO Toshikazu
Publisher
The Surface Finishing Society of Japan
Reference9 articles.
1. 1) JEITA:2005年度版日本実装技術ロードマップ, (電子情報技術産業協会, 2005).
2. 2) K. Kondo, N. Yamakawa, Z. Tanaka and K. Hayashi ; Analytical Electrochemistry, 599, 137 (2002).
3. Role of Additives for Copper Damascene Electrodeposition
4. High-Aspect-Ratio Copper Via Filling Used for Three-Dimensional Chip Stacking
5. 5) 近藤和夫:初歩から学ぶ微小めっき技術 (工業調査会, 2004)(K Books Series 185).
Cited by
5 articles.
订阅此论文施引文献
订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献