Effect of Pulse Parameters on the Crystal Orientation and Etching Rate of Copper Films

Author:

KUBOTA Kenji,MATSUMOTO Katsutoshi,YOSHIHARA Sachio

Publisher

The Surface Finishing Society of Japan

Subject

General Engineering

Reference5 articles.

1. 1) K. Kubota, T. Niiyama, K. Matsumoto, S. Yoshihara ; Journal of The Japan Institute of Electronics Packaging, 15, 194 (2012).

2. 2) I. Ohno ; Kinzoku Hyomen Gijutsu, 39, 149 (1988).

3. 3) K. Kondo, T. Nakamura. D. Mikami, T. Okubo ; J. Surf. Finish. Soc. Jpn., 58, 244 (2007).

4. 4) H. Abe, A. Kondo. T. Watanabe ; J. Japan Inst. Metals, 68, 844 (2004).

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