1. Institut
für Halbleitertechnik and Laboratory for Emerging Nanometrology, Technische Universität Braunschweig, 38092 Braunschweig, Germany
2. epitaxy competence
center ec2, Hans-Sommer-Strasse
66, 38106 Braunschweig, Germany
3. Osram Opto Semiconductors
GmbH, Leibnizstraße 4, 93055 Regensburg, Germany