1. Fraunhofer IPMS Center Nanoelectronic Technologies (CNT) Königsbrücker Str. 178 01099 Dresden Germany
2. GLOBALFOUNDRIES Fab1 LLC and Co. KG Wilschdorfer Land Str. 101 01109 Dresden Germany
3. Institut für Angewandte Physik Technische Universität Dresden Nöthnitzer Str. 61 01187 Dresden Germany
4. Center of Excellence – Complexity and Topology in Quantum Matter ct.qmat TU Dresden 01062 Dresden Germany