Multi‐Step Chemical Solution Deposition‐Annealing Process Toward Wake‐Up Free Ferroelectricity in Y:HfO 2 Films

Author:

Samanta Shibnath1ORCID,Anoop Gopinathan1ORCID,Joh HyunJin1,Seol WooJun1,Park Seong Min1,Unithrattil Sanjith1,Lee Jun Young1,Kim Tae Yeon1,Kim Hoon2,Yeom Jiwon2,Hong Seungbum2,Jo Ji Young1ORCID

Affiliation:

1. School of Materials Science and Engineering Gwangju Institute of Science and Technology Gwangju 61005 Korea

2. Department of Materials Science and Engineering Korea Advanced Institute of Science and Technology Daejeon 34141 Korea

Funder

National Research Foundation of Korea

Publisher

Wiley

Subject

Mechanical Engineering,Mechanics of Materials

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