1. CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbHKonrad‐Zuse‐Str. 1499099ErfurtGermany
2. Leibniz‐Institut für Polymerforschung Dresden e. V.Hohe Straße 601069DresdenGermany
3. Topsil Semiconductors sp. z o. o.ul. Wólczyńska 13301‐919WarszawaPoland
4. Institute of Electronic Materials Technologyul. Wólczyńska 13301‐919WarszawaPoland