Abstract
Рассмотрены особенности технологических процессов в производстве интегральных схем с различными минимальными проектными нормами, а также возможности применения технологий с топологическими размерами менее 5 нм для создания МОП-транзисторов и интегральных схем на их основе.
Subject
Industrial and Manufacturing Engineering,Materials Science (miscellaneous),Business and International Management
Cited by
3 articles.
订阅此论文施引文献
订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献