Affiliation:
1. АО «НИИМЭ»; МФТИ (НИУ)
2. Научно-исследовательский институт молекулярной электроники
Abstract
Рассмотрена объёмная диффузия по междоузельному механизму и по механизму вакансий примесного атома Cu в гранецентрированном кубическом нитриде титана. Рассчитаны из первых принципов в рамках теории функционала плотности по методу восходящих изображений значения энергетических барьеров миграции атомов меди на обеих подрешётках монокристаллического TiN и по междоузельным положениям, а также энергетические барьеры миграции вакансий в окрестности примесного атома Cu. Проведены оценки корреляционного множителя для диффузии по вакансионному механизму, получены зависимости изменения межатомных расстояний при миграции Cu, а также продемонстрировано изменение плотности электронных состояний при скачке примесного атома Cu на близлежащую вакансию титана.