Organometallic vapor phase epitaxy (OMVPE)

Author:

Breiland William G.,Coltrin Michael E.,Creighton J.Randall,Hou Hong Q.,Moffat Harry K.,Tsao Jeffrey Y.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Mechanical Engineering,Mechanics of Materials,General Materials Science

Reference85 articles.

1. Metal-organic vapor phase epitaxy of compound semiconductors;Kuech;Mater. Sci. Reports,1987

2. G.B. Stringfellow, Organometallic Vapor-phase Epitaxy: Theory and Practice, Academic Press, Boston, 1989

3. R.L. Moon, Y.M. Houng, Organometallic vapor phase epitaxy of III–V materials, in: M.L. Hitchman, K.F. Jensen (Eds.), Chemical Vapor Deposition, Academic Press, London, 1993

4. Metalorganic chemical vapor deposition of III–V semiconductors;Ludowise;J. Appl. Phys.,1985

5. T.P. Lee (Ed.), Current Trends in Vertical Cavity Surface Emitting Lasers, World Scientific, Singapore, 1995

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