Stress effects on defects and dopant diffusion in Si

Author:

Aziz Michael J.

Publisher

Elsevier BV

Subject

Mechanical Engineering,Mechanics of Materials,Condensed Matter Physics,General Materials Science

Reference32 articles.

1. Point defects and dopant diffusion in silicon

2. Boron diffusion in strainedSi1−xGexepitaxial layers

3. Multilayers as Microlabs for Point Defects: Effect of Strain on Diffusion in Semiconductors

4. Diffusion in strained Si(Ge)

5. Cowern, NEB, Kersten, WJ, de Kruif, RCM, van Berkum, JGM, de Boer, WB, Gravesteijn, DJ, Bulle-Liewma, CWT. In: Srinivasan GR, Murthy CS, Dunhan ST, editors. Proceedings of the fourth International Symposium on Process Physics and Modeling in Semiconductor Devices. Electrochemical Society Proceedings Vol. 96–4 Pennington, NJ: Electrochemical Society, 1996.

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