Fully integrated FBAR sensor matrix for mass detection

Author:

Tukkiniemi K.,Rantala A.,Nirschl M.,Pitzer D.,Huber T.,Schreiter M.

Publisher

Elsevier BV

Subject

General Medicine

Cited by 21 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Innovative-shaped FBARs for smart sensors;2023 IEEE Conference on Antenna Measurements and Applications (CAMA);2023-11-15

2. Design and Fabrication of a Flexible Gravimetric Sensor Based on a Thin-Film Bulk Acoustic Wave Resonator;Sensors;2023-02-02

3. FBAR Devices: Fundamentals, Fabrication and Applications;Springer Series on Chemical Sensors and Biosensors;2023

4. Towards Portable MEMS Oscillators for Sensing Nanoparticles;Sensors;2022-07-22

5. Fabrication of a Flexible Film Bulk Acoustic Resonator for Wireless Sensor Networks;2022 Microwave Mediterranean Symposium (MMS);2022-05-09

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