Trial Manufacturing of Thin-Film Transistor by Selective Laser Annealing with Micro Lens
Author:
Affiliation:
1. V Technology Co.,Ltd
2. New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University
3. Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University
Publisher
Laser Society of Japan
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/lsj/44/3/44_193/_pdf
Reference6 articles.
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