27.4: Selective Laser-Annealing System for LTPS-TFT Panels

Author:

Sugimoto Shigeto1,Kiguchi Tetsuya1,Hatanaka Makoto1,Mizumura Michinobu1,Kajiyama Koichi1,Kido Junji2

Affiliation:

1. V Technology Co., Ltd., Kanagawa, Japan

2. Yamagata University, Yamagata, Japan

Publisher

Wiley

Reference3 articles.

1. Status and Future Promise of Excimer Laser Annealing for LTPS on Large Glass Substrates;Sobey;SID Proceedings,2014

2. A New Mask-Less Exposure Method for Flat Panel Displays;Mizumura;IDW Proceedings,2011

3. Pulsed Laser System with Variable Duration for Laser Annealing;Sugimoto;The Review of Laser Engineering,2013

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