Non-Gaussian Implantation Profiles

Author:

Dearnaley G.,Wilkins M. A.,Goode P. D.

Publisher

Springer Berlin Heidelberg

Reference19 articles.

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4. Dearnaley, G., Wilkins, M. A. Goode, P. D., Freeman, J. H., Gard, G. A.: Proc. Conf. on Atomic Collision Phenomena in Solids, Sussex 1969 ( North-Holland, Amsterdam 1970 ).

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