Roles of an Active Anti-Vibration Apparatus in Precision Positioning
Author:
Publisher
Japan Society for Precision Engineering
Subject
Mechanical Engineering
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/73/4/73_4_405/_pdf
Reference12 articles.
1. 1) 柴崎祐一：半導体露光装置における精密位置決め技術，機械設計，50, 8 (2006) 36.
2. 2) 涌井伸二：半導体露光装置の制御，日本機械学会誌，103, 977 (2000) 250.
3. 3) 涌井伸二：ステッパにおける精密位置決めステージの現状と将来，精密工学会誌，67, 2 (2001) 202.
4. 4) 涌井伸二：高速・高精度位置決め技術の実相，機械設計，48, 12 (2004) 20.
5. 5) 涌井伸二：半導体露光装置における精密位置決め技術開発の実相，機械設計，50, 8 (2006) 18.
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1. FPD Exposure System and Precision Servo Technology;The Journal of the Institute of Electrical Engineers of Japan;2017
2. Vibration Analysis of High-Precision Machine Tools Mounted on a Passive Vibration Isolation Table;TRANSACTIONS OF THE JAPAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS Series C;2011
3. A Developed Non-Contact Active Vibration Isolation Unit for Precision Machining Systems;TRANSACTIONS OF THE JAPAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS Series C;2011
4. Wide Bandwidth by Using Multi-VCM for Isolation Device(Mechanical Systems);Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers Series C;2010
5. Performance Improvement of Semiconductor Lithograph Machine Using Active Mass Damper System(Mechanical Systems);Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers Series C;2010
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