Impact of wafer thinning on front-end reliability for 3D integration

Author:

Chasin Adrian,Scholz Mirko,Guo Wei,Franco Jacopo,Potoms Goedele,Jourdain Anne,Linten Dimitri,Van der Plas Geert,Absil Philippe,Beyne Eric

Publisher

IEEE

Cited by 3 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Impact of Sub-μm Wafer Thinning on Latch-Up Risk in DTCO/STCO Scaling Era;IEEE Transactions on Electron Devices;2024-04

2. High thermal conductive Graphene-based Composites and its Controllable ESD Application on Device Packaging;2023 45th Annual EOS/ESD Symposium (EOS/ESD);2023-10-02

3. Reliability Studies of Fully Integrated CMOS Power Amplifier on Thinned Substrate for Flexible Electronics;2023 IEEE USNC-URSI Radio Science Meeting (Joint with AP-S Symposium);2023-07-23

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