Study on surface discharge of polyimide at high frequency
Author:
Affiliation:
1. Shandong University,School of Electrical Engineering,Jinan,China
Funder
National Natural Science Foundation of China
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/9735429/9735430/09735613.pdf?arnumber=9735613
Reference22 articles.
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2. Plasma particle simulation;fuqiu,2002
3. Fluid model simulations of a 13.56‐MHz rf discharge: Time and space dependence of rates of electron impact excitation
4. Analysis of low pressure rf glow discharges using a continuum model
5. Modeling and diagnostics of the structure of rf glow discharges in Ar at 13.56 MHz
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