$0.63\ \mathrm{m}\Omega \text{cm}^{2}$ / 1170 V 4H-SiC Super Junction V-Groove Trench MOSFET

Author:

Masuda T.,Saito Y.,Kumazawa T.,Hatayama T.,Harada S.

Publisher

IEEE

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1. Aluminum channeling in 4H-SiC by high-energy implantation above 10 MeV;Materials Science in Semiconductor Processing;2024-08

2. Vertical GaN Superjunction Diode on Sapphire with Kilovolt Dynamic Breakdown Voltage;2024 36th International Symposium on Power Semiconductor Devices and ICs (ISPSD);2024-06-02

3. A Novel Deep-Trench Super-Junction SiC MOSFET with Improved Specific On-Resistance;Micromachines;2024-05-23

4. 3D Van der Pauw Device for MOS Channel Characterization on 4H-SiC Trench Sidewalls;IEEE Electron Device Letters;2024-04

5. 1 kV Self-Aligned Vertical GaN Superjunction Diode;IEEE Electron Device Letters;2024-01

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