Enabling Monolithic Integration of an Advanced 7-Layer Silicon Back-End-of-Line (BEOL) on 40nm GaN for Next Generation MMICs

Author:

Roderick Jonathan1,Siddiqi George1,Denninghoff Dan1,Berkoh Daniel1,Tai Joe1,Rao Sunil1,Lynch Jonathan1,Clayton T.1,Sharifi Hasan1,Kuzmenko Daniel1,Georgieva Jana1,McArthur Warren2,Mirshafieyan Seyed2,Howard Dave2

Affiliation:

1. HRL Laboratories,USA

2. TowerSemi,USA

Funder

Defense Advanced Research Projects Agency

Publisher

IEEE

同舟云学术

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