Impact of field cycling on HfO2 based non-volatile memory devices

Author:

Schroeder U.1,Pesic M.1,Schenk T.1,Mulaosmanovic H.1,Slesazeck S.1,Ocker J.1,Richter C.1,Yurchuk E.1,Khullar K.1,Muller J.2,Polakowski P.2,Grimley E. D.3,LeBeau J. M.3,Flachowsky S.4,Jansen S.4,Kolodinski S.4,van Bentum R.4,Kersch A.5,Kunneth C.5,Mikolajick T.1

Affiliation:

1. NaMLab gGmbH, 01197 Dresden, Germany

2. Fraunhofer IPMS-CNT, 01109 Dresden, Germany

3. North Carolina State University, Raleigh, 27695, USA

4. GLOBALFOUNDRIES, 01109 Dresden, Germany

5. Munich UAS, 80335, Germany

Publisher

IEEE

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