Numerical Simulation of Atomic Layer Oxidation of Silicon by Oxygen Gas Cluster Beams
Author:
Affiliation:
1. Center of Atomic and Molecular Technologies, Osaka University
Publisher
Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research
Subject
Condensed Matter Physics
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/pfr/10/0/10_1406079/_pdf
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