基于飞秒激光直写技术的金属图案化研究（特邀）
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Publisher
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics
Reference40 articles.
1. Multidirectional monolayer metal nano-grating micro polarizer array based on nanoimprint lithography and plasma ashing process;Y Y Fan;Journal of Micromechanics and Microengineering,2019
2. Novel nano-materials and nano-fabrication techniques for flexible electronic systems;Y Cho;Micromachines,2018
3. Step-controllable electric-field-assisted nanoimprint lithography for uneven large-area substrates;J Y Shao;ACS Nano,2016
4. Electron beam lithography: resolution limits and applications;F Carcenac;Applied Surface Science,2000
5. High-speed two-photon lithography based on femtosecond laser;C L Ding;Opto-Electronic Engineering,2023
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