Crystallinity and Photoluminescence Evaluation of Er-Implanted n-Type 4H-SiC Subjected to an Annealing Process
Author:
Affiliation:
1. Meiji University, School of Sciences and Technology
Publisher
Trans Tech Publications, Ltd.
Subject
Mechanical Engineering,Mechanics of Materials,Condensed Matter Physics,General Materials Science
Link
https://www.scientific.net/MSF.457-460.779.pdf
Reference8 articles.
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