Extended Defects in Silicon: an Old and New Story

Author:

Vanhellemont Jan1,De Gryse Olivier,Clauws Paul1

Affiliation:

1. Ghent University

Publisher

Trans Tech Publications, Ltd.

Subject

Condensed Matter Physics,General Materials Science,Atomic and Molecular Physics, and Optics

Reference34 articles.

1. B.O. Kolbesen and H.P. Strunk, VLSI Electronics: Microstructure Science , Silicon Materials, Huff HR, Volume Ed. 12 (New York: Academic) (1985), p.143.

2. S.M. Hu, in Semiconductor Silicon 1986, eds. H.R. Huff, T. Abe and B. Kolbesen, (Pennington, N J: The Electrochem. Soc. ) (1986), p.722.

3. P.M. Fahey, S.R. Mader, S.R. Stiffler, R.L. Mohler, J.D. Mis and J.A. Slinkman, IBM J. Res. Develop. 36 (1992), p.158.

4. J. Vanhellemont and C. Claeys, Proc. 1 st International Rapid Thermal Processing Conference, eds. R.B. Fair and B. Lojek, (1993), p.62.

5. S.M. Hu, J. Appl. Phys. 40 (1969), p.4413.

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