Новий метод визначення апаратної функції в рентгенівській фотоелектронній спектроскопії

Abstract

Розроблено новий метод інструментального визначення апаратної функції в рентгенівській фотоелектронній спектроскопії (РФС). Вперше показано принципову можливість отримання апаратної функції спектрометра доповненням стандартних вихідних даних РФС додатковою інформацією у вигляді розподілів амплітуд одноелектронних імпульсів для кожної точки спектра. Метод не містить суб’єктивних критеріїв вибору параметрів спектра РФС, притаманних математичним методам деконволюції. Алгоритм методу ґрунтується на аналізі функції амплітудного розподілу імпульсів у кожній точці спектра за критерієм величини співвідношення сигнал/шум. Показано, що застосування методу дає змогу зменшити ширину лінії Cu2p3/2-рівня з 1,2 до 1,0 еВ, зменшити внесок лоренціана та розділити особливість у максимумі спектра. Метод може бути застосовано для вирішення проблеми виділення сигналу з шуму, а також у тих областях спектроскопії, де використовується методика підрахунку одноелектронних імпульсів, зокрема в корпускулярній спектроскопії: електронній та іонній спектроскопії і масспектрометрії, в растровій електронній мікроскопії.