1. 1. I. Mori, O. Suga, H. Tanaka, I. Nishiyama, T. Terasawa, H. Shigemura, T. Taguchi, T. Tanaka and T. Itani, Proc. SPIE 6921, 692102 (2008).
2. 2. A. Ma, J. Park, K. Dean, S. Wurm, P. Naulleau, Proc. SPIE 6921, 69213O, (2008).
3. 3. T. Wallow, C. Higgins, R. Brainard, K. Petrillo, W. Montgomery, C. Koay, G. Denbeaux, O. Wood and Y. Wei, Proc. SPIE 6921, 69211F, (2008).
4. Using KLUP for Understanding Trends in EUV Resist Performance
5. 5. D. Kawamura, K. Kaneyama, S. Kobayashi, J. J. Santillan and T. Itani, Proc. SPIE 6923, 692313 (2008).