Hybrid metrology universal engine: co-optimization

Author:

Vaid Alok,Osorio Carmen,Tsai Jamie,Bozdog Cornel,Sendelbach Matthew,Grubner Eyal,Koret Roy,Wolfling Shay

Publisher

SPIE

Reference8 articles.

1. Implementation of hybrid metrology at HVM fab for 20nm and beyond;Vaid,2013

2. A holistic metrology approach: hybrid metrology utilizing scatterometry, CD-AFM, and CD-SEM;Vaid,2011

3. Hybrid metrology solution for 1X node technology;Vaid,2012

4. Product-driven material characterization for improved scatterometry time-to-solution;Vaid,2009

5. Simultaneous measurement of optical properties and geometry of resist using multiple scatterometry targets

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